高溫壓力傳感器是為了解決在高溫環(huán)境下對各種氣體、液體的壓力進行測量。主要用于測量鍋爐、管道、高溫反應容器內的壓力、井下壓力和各種發(fā)動機腔體內的壓力、高溫油品液位與檢測、油井測壓等領域。目前，研究比較多的高溫壓力傳感器主要有SOS，SOI，SiO2，Poly2Si等半導體傳感器，還有濺射合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。半導體電容式壓力傳感器相比壓阻式壓力傳感器其靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、功耗小，且只對壓力敏感，對應力不敏感，因此，電容式壓力傳感器在許多領域得到廣泛應用。
高溫壓力傳感器由硅膜片、襯底、下電極和絕緣層構成。其中下電極位于厚支撐的襯底上。電極上蒸鍍一層絕緣層。硅膜片則是利用各向異性腐蝕技術，在一片硅片上從正反面腐蝕形成的。上下電極的間隙由硅片的腐蝕深度決定。硅膜片和襯底利用鍵合技術鍵合在一起，形成具有一定穩(wěn)定性的硅膜片電容壓力傳感器。

工作原理
高溫壓力傳感器的工作原理風壓傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產生與介質壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉換輸出一個對應于這個壓力的標準信號。

產品應用 
高溫壓力傳感器廣泛應用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風、鍋爐，熔爐等眾多行業(yè)。

產品特性
1.傳感器：能感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉換成可用輸出信號的器件或裝置。通常有敏感元件和轉換元件組成。
①敏感元件是指傳感器中能直接（或響應）被測量的部分。
②轉換元件指傳感器中能較敏感元件感受（或響應）的北側量轉換成是與傳輸和（或）測量的電信號部分。
③當輸出為規(guī)定的標準信號時，則稱為變送器。
2. 測量范圍：在允許誤差限內被測量值的范圍。
3. 量程：測量范圍上限值和下限值的代數差。
4. 精確度：被測量的測量結果與真值間的一致程度。
5. 重復性：在所有下述條件下，對同一被測的量進行多次連續(xù)測量所得結果之間的符合程度：
6. 分辨力：傳感器在規(guī)定測量范圍圓可能檢測出的被測量的最小變化量。
7. 閾值：能使傳感器輸出端產生可測變化量的被測量的最小變化量。
8. 零位：使輸出的絕對值為最小的狀態(tài)，例如平衡狀態(tài)。
9. 激勵：為使傳感器正常工作而施加的外部能量（電壓或電流）。
10. 最大激勵：在市內條件下，能夠施加到傳感器上的激勵電壓或電流的最大值。
11. 輸入阻抗：在輸出端開路時，傳感器輸入端測得的阻抗。
12. 輸出：有傳感器產生的與外加被測量成函數關系的電量。
13. 輸出阻抗：在輸入端短路時，傳感器輸出端測得的阻抗。
14. 零點輸出：在市內條件下，所加被測量為零時傳感器的輸出。
15. 滯后：在規(guī)定的范圍內，當被測量值增加和減少時，輸出中出現的最大差值。
16. 遲后：輸出信號變化相對于輸入信號變化的時間延遲。
17. 漂移：在一定的時間間隔內，傳感器輸出終于被測量無關的不需要的變化量。
18. 零點漂移：在規(guī)定的時間間隔及室內條件下零點輸出時的變化。
19. 靈敏度：傳感器輸出量的增量與相應的輸入量增量之比。
20. 靈敏度漂移：由于靈敏度的變化而引起的校準曲線斜率的變化。
21. 熱靈敏度漂移：由于靈敏度的變化而引起的靈敏度漂移。
22. 熱零點漂移：由于周圍溫度變化而引起的零點漂移。
23. 線性度：校準曲線與某一規(guī)定只限一致的程度。
24.非線性度：校準曲線與某一規(guī)定直線偏離的程度。
25.長期穩(wěn)定性：傳感器在規(guī)定的時間內仍能保持不超過允許誤差的能力。
26. 固有憑率：在無阻力時，傳感器的自由（不加外力）振蕩憑率。
27. 響應：輸出時被測量變化的特性。
28. 補償溫度范圍：使傳感器保持量程和規(guī)定極限內的零平衡所補償的溫度范圍。
29. 蠕變：當被測量機器多有環(huán)境條件保持恒定時，在規(guī)定時間內輸出量的變化。
30. 絕緣電阻：如無其他規(guī)定，指在室溫條件下施加規(guī)定的直流電壓時，從傳感器規(guī)定絕緣部分之間測得的電阻值。

相關參數
量 程： -0.1～0～1～150(MPa) 綜合精度：0.25%FS、0.5%FS
輸出信號： 4～20mA(二線制)、0～5V、1～5V、0～10V(三線制)
供電電壓： 24DCV(9～36DCV)
介質溫度： -20～800℃
環(huán)境溫度： 常溫(-20～85℃)
零點溫漂移： ≤±0.05%FS℃
量程溫度漂移： ≤±0.05%FS℃
補償溫度： 0~70℃
安全過載： 150%FS
極限過載： 200%FS
響應時間： 5 mS(上升到90%FS)
負載電阻： 電流輸出型：最大800Ω；電壓輸出型：大于5KΩ
絕緣電阻： 大于2000MΩ (100VDC)
密封等級： IP65
長期穩(wěn)定性能： 0.1%FS/年
振動影響： 在機械振動頻率20Hz～1000Hz內，輸出變化小于0.1%FS

產品選型
1、測量的是何種壓力。
2、所測量的介質。在選擇高溫熔體壓力傳感器時需要考慮的關鍵因素是所測量的介質。
3、需要達到什么樣的精度。
4、此高溫壓力傳感器的耐溫性、互換性、時間穩(wěn)定性和堅固程度。
5、此高溫壓力傳感器使用何種輸出，需要的激勵電壓，以及怎樣將傳感器連接到自己的電氣系統(tǒng)中 。

發(fā)展方向 
1、向高精度發(fā)展
2、向高可靠性、寬溫度范圍發(fā)展
3、向微型化發(fā)展
4、向微功耗及無源化發(fā)展
5、向智能化數字化發(fā)展

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